مقدمة لآلة طلاء الفراغ

تسمى الركيزة المراد طلاءها الركيزة ، والمواد المراد تسمى الهدف. الركيزة والهدف في نفس غرفة الفراغ.
تبخر طلاء بشكل عام يسخن الهدف بحيث يتم تبخير مكونات السطح في شكل مجموعات أو أيونات ذرية. ويستقر على سطح الركيزة ، ويشكل فيلمًا رفيعًا من خلال عملية تشكيل الفيلم (النمو المبعثر ببنية الجزر الجارة). بالنسبة للطلاء المتفرخ ، يمكن فهمه ببساطة على أنه قصف الهدف مع الإلكترونات أو الليزر عالي الطاقة ، وتخفيف مكونات السطح في شكل مجموعات أو أيونات ذرية ، وأخيراً تودع على سطح الركيزة ، وتخضع لعملية تشكيل الفيلم ، وأخيراً تشكيل فيلم رفيع.