عملية طلاء آلة طلاء الفراغ

1. ما قبل المعالجة

- تنظيف الركيزة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية + تنظيف البلازما (الطاقة 50-200W).

- التثبيت والموضع: تأكد من أن المسافة بين الركيزة ومصدر التبخر هي 20-50 سم (تؤثر على توحيد سمك الفيلم).

2. مرحلة الطلاء

-قبل الابتعاد: أدخل غاز الأرجون (معدل التدفق 10-50SCCM) لإزالة الأكاسيد على سطح الهدف.

- الترسب الرئيسي:

-طلاء التبخر: معدل 0.1-10nm/s (طاقة شعاع الإلكترون 5-20 كيلو وات).

-الدماغ المغنطيسي: معدل الترسيب 0.01-1 ميكرون/دقيقة (ضغط الغاز 0.1-1PA).

3. بعد العلاج

-الصلب والتعزيز (200-400 درجة ، 1-2 ساعات) لتحسين التصاق الأفلام (اختبار الخدش أكبر من أو يساوي 5N).