المبدأ التشغيلي:

آلة الطلاء متعددة القوس هي جهاز يستخدم مبدأ تصريف القوس الفراغي لتبخر وتأين هدف الكاثود (مادة المصدر) في بيئة فراغ وإيداعه على سطح الشغل لتشكيل فيلم رفيع.

التطبيقات:

تحسين أداء وحياة الأدوات والقوالب والقوالب (الطلاء الصلب)
يوفر أسطحًا زخرفية متينة ، متينة ، صديقة للبيئة (الطلاء الزخرفي)
تحسين مقاومة التآكل وتقليل الاحتكاك ومقاومة التآكل للأجزاء الميكانيكية (الطلاء الوظيفي)

سمات:

ارتفاع معدل التأين:

الترابط الممتاز لقاعدة الأفلام ، بنية كثيفة ممتازة وأداء جيد.

قصف أيون عالي الطاقة:

يساعد على تكوين أفلام كثيفة ومستعبدة بقوة ويمكن إيداعها في درجات حرارة منخفضة.

معدل ترسب مرتفع:

بالمقارنة مع تقنيات PVD الأخرى ، فإن الطلاء متعدد القساوسة له معدل ترسب أعلى بشكل عام.

مناسبة للطلاء الصلب:

إنه جيد بشكل خاص في إيداع العديد من النيتريدات المعدنية والكربيدات والأكاسيد وغيرها من الطلاءات الفائقة والمقاومة للارتداء والمقاومة للتآكل (مثل القصدير ، CRN ، Tialn ، DLC ، وما إلى ذلك) ، وتستخدم على نطاق واسع في الأدوات ، القوالب ، الأجزاء المقاومة للارتداء ، الطلاء الزخرفي وغيرها من الحقول.

مواصفة:

آلة طلاء متعددة القرك
نموذج	إتش إتش -600	إتش إتش إم 800	إتش إتش إم - 1000	إتش إتش - 1200	إتش إتش - 1400	إتش إتش - 1500	إتش - 1600
حجم الغرفة	φ600 × 800mm	φ800 × 1000mm	φ1000 × 1200mm	φ1200 × 1400mm	φ1400 × 1600mm	φ1500 × 1500mm	φ1600 × 1800mm
وحدة الفراغ	وحدة مضخة الانتشار KT400	وحدة مضخة الانتشار KT500	وحدة مضخة الانتشار KT500	وحدة مضخة الانتشار KT630	وحدة مضخة الانتشار مزدوجة KT630	وحدة مضخة الانتشار مزدوجة KT630	وحدة مضخة الانتشار مزدوجة KT630
نظام الطلاء	مصدر طاقة طلاء متعدد القوس مخصص + هدف قوس حلقة مغناطيسية متعددة الوظائف + هدف قوس أسطواني (اختياري)
نظام الطلاء المساعد	المصدر المنخفض بمساعدة أيون (لا يوجد نظام تسخين مطلوب باستثناء طلاء الأدوات)
نظام التضخم	مقياس تدفق الكتلة
طريقة التحكم	يدوي أو تلقائي بالكامل
معدل الضخ	5 × 10-3PA ﹤ 15min
الفراغ النهائي	5x10-4PA
ملاحظة	معلمات المعدات المذكورة أعلاه هي للرجوع إليها فقط ، ويتم تصميمها وتخصيصها وفقًا لمتطلبات العملية الفعلية للعملاء.