تشير آلة طلاء الفراغ بشكل أساسي إلى الطلاء الذي يجب تنفيذه تحت فراغ مرتفع ، بما في ذلك التبخر الأيوني الفراغي ، وتراجع المغناطيسي ، و Epitaxy الحزمة الجزيئية ، وترسبات التطفو بالليزر PLD والعديد من الأنواع الأخرى. تنقسم فكرتها الرئيسية إلى التبخر والخلع.
متطلبات بيئة العمل لآلة طلاء الفراغ:
يجب أن تعمل معدات طلاء الفراغ في ظل ظروف الفراغ ، وبالتالي يجب أن تلبي المعدات متطلبات الفراغ للبيئة. تشمل متطلبات الفراغ للبيئة عمومًا متطلبات المعدات الفراغية لدرجة حرارة المختبر (أو ورشة العمل) ، والهواء وغيرها من الجسيمات في البيئة المحيطة ، ومتطلبات الأجزاء أو الأسطح في الفراغ أو الفراغ.
يرتبط هذان الجانبين ارتباطًا وثيقًا. تؤثر البيئة المحيطة بشكل مباشر على الاستخدام الطبيعي للمعدات الفراغية ؛ ما إذا كانت غرفة الفراغ أو الأجزاء المثبتة في المعدات الفراغية نظيفة تؤثر بشكل مباشر على أداء الجهاز. إذا كان هناك الكثير من بخار الماء والغبار في الهواء ، فمن الصعب تحقيق درجة الفراغ المتوقعة عن طريق ضخ بمضخة ميكانيكية مختومة بالزيت دون تنظيف غرفة الفراغ. من المعروف جيدًا أن المضخات الميكانيكية المختقة للزيوت يجب ألا تضخ الغازات التي تحتوي على غبار جسيمات تفسد للمعادن وتفاعل الزيت الفراغي. بخار الماء هو غاز مكثف. عندما يتم ضخ كمية كبيرة من الغاز المكثف ، سيكون تلوث زيت المضخة أكثر خطورة. لذلك ، سيتم تقليل الفراغ النهائي للمضخة وسيتم ضعف أداء ضخ المضخة.
يتميز الغبار في البيئات الصناعية بالأجسام المسحوقة ، والعيون غير المحملة والغبار. المسحوق مادة في حالة من التجميع أو تشتت المسحوق أو الجزيئات الصلبة. يشير المسحوق المزعوم إلى مجموعة من الجزيئات الصلبة الصغيرة ، وتشير الجسيمات إلى مواد صغيرة يمكن حسابها تلو الأخرى. الدخان هو نظام مادي توجد فيه جزيئات صغيرة من الصلبة أو السائلة في حالة عائمة في الغاز. يشار إلى المواد في حالة الحبيبية ، سواء كانت صلبة أو سائلة ، مجتمعة على أنها جزيئات الغبار. يتم تحديد معيار نظافة الهواء حسب حجم حجم جسيم الغبار ، وبالتالي تخصيص درجة الغرفة النظيفة. لا ينطبق فقط على القطاعات الصناعية ذات المتطلبات النظيفة ، ولكن أيضًا على متطلبات الفراغ للبيئات النظيفة.
