يوجد حاليًا العديد من الطرق لمراقبة الأغشية الرقيقة في آلات الطلاء بالفراغ، بما في ذلك بشكل رئيسي: المراقبة البصرية، ومراقبة القيمة الثابتة (المتطرفة)، ومراقبة التذبذب البلوري، ومراقبة الوقت. ستقدم هذه المقالة في المقام الأول ثلاث طرق: المراقبة البصرية، ومراقبة القيمة الثابتة (المتطرفة)، ومراقبة التذبذب البلوري. المراقبة البصرية، والمعروفة أيضًا بالمراقبة المباشرة، تستخدم العيون لمراقبة الفيلم. أثناء عملية نمو الفيلم، تسبب ظاهرة التداخل تغيرات في اللون، ونحن نتحكم في سمك الفيلم بناءً على تغيرات اللون هذه. هذه الطريقة بها درجة معينة من الخطأ وليست دقيقة جدًا، وتتطلب خبرة.
مراقبة القيمة -الثابتة (القيمة القصوى-): يستخدم هذا بشكل أساسي المراقبة البصرية الانعكاسية (الناقلة). طريقة مراقبة القيمة القصوى -: مع زيادة سماكة الفيلم، تتغير انعكاسيته ونفاذيته وفقًا لذلك. عندما تصل الانعكاسية أو النفاذية إلى نقطة متطرفة، يمكن تحديد السُمك البصري ND للطلاء ليكون عددًا صحيحًا مضاعفًا لربع - ربع الطول الموجي للمراقبة (LA). ومع ذلك، فإن طريقة القيمة القصوى- بها خطأ كبير نسبيًا لأن الانعكاسية أو النفاذية تتغير ببطء شديد بالقرب من القيمة القصوى؛ أي أن R/T يتغير فقط بعد زيادة كبيرة في سمك الفيلم ND. الموضع الأكثر حساسية هو عند -ثمان الطول الموجي. طريقة مراقبة القيمة الثابتة-: تستخدم هذه الطريقة حقيقة أن نقطة توقف الطلاء ليست عند ربع -ربع الطول الموجي للمراقبة. بعد ذلك، يقوم الكمبيوتر بحساب الانعكاسية (أو النفاذية) لسمك الفيلم الإجمالي عند الطول الموجي 1، وهو نقطة توقف الطلاء. مراقبة التذبذب البلوري: يعتمد مبدأ عمل التذبذب البلوري على مبدأ أن تردد اهتزاز بلورة الكوارتز يتناسب عكسيا مع كتلتها. ومع ذلك، أحد عيوب مراقبة الكوارتز هو أنه عندما يزيد سمك الفيلم إلى مستوى معين، فإن تردد الاهتزاز لا يرتبط بشكل خطي تمامًا بالسمك بسبب خصائص الكوارتز نفسه. في هذه الحالة، يجب استخدام مذبذب كوارتز جديد.
تتميز العديد من طرق المراقبة بمزاياها وعيوبها، ولكن بالنسبة للطبقات المتعددة-، تكون المراقبة البصرية عادةً هي الطريقة الأساسية، بالإضافة إلى التذبذب البلوري الكوارتز. بالإضافة إلى ذلك، بالنسبة لبعض العمليات التي تتطلب حقن الغاز أثناء الطلاء، هناك حاجة إلى أجهزة قياس التدفق أو أجهزة قياس الضغط، والتي تتطلب صمامات دقيقة وأنظمة استشعار كهروضوئية للتحكم. تتطلب آلات الطلاء الفراغي أيضًا نظام تحكم في الدوران، حيث يتم وضع العمود الرئيسي للمظلة داخل محمل، ويقوم المحرك بتشغيل المحمل لتدوير المظلة. ومن ثم يتم التحكم في سرعة الدوران بواسطة PLC. يتم تشغيل دوران البوتقة بواسطة محرك ويستخدم العد الحث الكهروضوئي، بينما تدور لوحة التدريع باستخدام مفتاح هوائي. لتسريع معدل الضخ وتحقيق مستوى فراغ معين، يجب تبريد غرفة التفريغ، وتجميد الهواء بداخلها إلى -130 درجة مئوية وتجميد وإزالة أي بخار ماء. يعتمد قسم التحكم الكهربائي بشكل أساسي التحكم الآلي PLC. يتم إدخال البرنامج المصمم مسبقًا{10}}أولاً في PLC، ويتم توصيل الدائرة الرئيسية للمعالج بكل نظام عدم تحميل على لوحة التشغيل. عند الضغط على المفتاح الموجود على لوحة التشغيل، يتم نقل المعلومات إلى المعالج المركزي، ومن ثم يقوم نظام التحكم المركزي بتحليل وإصدار التعليمات إلى الدوائر الفرعية لتنفيذ الإجراء وإكماله.
آلات طلاء الفراغ هي أجهزة تدمج تخصصات متعددة. وهي تشتمل على أحدث التقنيات الكهروميكانيكية، وتقنيات التحكم، والأتمتة الكهربائية، وتقنيات تكنولوجيا المعلومات، وتقنيات التبريد، وأنظمة الدوائر الدقيقة المتكاملة، وأنظمة التحكم في الجهد العالي-، والتقنيات الميكانيكية، وتقنيات المعالجة، والتقنيات الإلكترونية الضوئية، والتقنيات البصرية، وتقنيات التحكم بالهواء المضغوط، وتقنيات الاستشعار الإلكتروني البصري، وتقنيات الاتصالات، وتقنيات التفريغ، والبصريات ذات الأغشية الرقيقة، وتقنيات الطلاء، والمزيد. يمكن اعتبار آلات طلاء الفراغ ممثلة للصناعات الناشئة. اليوم، يتم استخدام آلات الطلاء الفراغي على نطاق واسع، خاصة في إنتاج الأغشية الرقيقة. يتم استخدام الأغشية الرقيقة المختلفة المنتجة في مختلف الأنظمة الإلكترونية البصرية والأدوات البصرية، مثل الكاميرات الرقمية، وكاميرات الفيديو الرقمية، والتلسكوبات، وأجهزة العرض، والتحكم في الطاقة، والاتصالات البصرية، وتكنولوجيا العرض، ومقاييس التداخل، والأقمار الصناعية والصواريخ الاصطناعية، وأشعة ليزر أشباه الموصلات، والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، وصناعة المعلومات، وتصنيع الليزر، والمرشحات المختلفة، وصناعة الإضاءة، وأجهزة الاستشعار، والزجاج المعماري، وصناعة السيارات، والمواد الزخرفية، والعملات المعدنية، وعدسات النظارات، والمزيد. أصبحت آلات الطلاء مدمجة بشكل وثيق في حياة الإنسان.
