يستخدم الطلاء الأيوني تفريغ الغاز في ظل ظروف الفراغ لتأين الغاز أو المادة المتبخرة. تحت قصف أيونات الغاز أو أيونات المواد المتبخرة، يتم ترسيب المادة المتبخرة أو المواد المتفاعلة على قطعة العمل. يتضمن ذلك الطلاء الأيوني المتطاير بالمغنطرون، والطلاء الأيوني التفاعلي، والطلاء الأيوني بتفريغ الكاثود المجوف (تبخر الكاثود المجوف)، والطلاء الأيوني المتعدد - (الطلاء الأيوني بقوس الكاثود). يجمع الطلاء الأيوني بين تقنية تفريغ التوهج وتقنية البلازما مع التبخر الفراغي، مما يحسن أداء الطلاء بشكل كبير ويوسع نطاق تطبيقه. بالإضافة إلى مشاركة مزايا الرش بالفراغ، يوفر الطلاء الأيوني التصاقًا قويًا للفيلم، وخصائص حيود ممتازة، ومجموعة واسعة من مواد الطلاء.
ونتيجة لذلك، شهدت تطوراً سريعاً على الصعيدين المحلي والدولي في السنوات الأخيرة. المبدأ الأساسي للطلاء الأيوني هو تأين بخار المعدن أو السبائك باستخدام توهج أو تفريغ القوس من غاز خامل. يتضمن الطلاء الأيوني تسخين مادة الطلاء وتبخرها وترسيبها (مثل TiN وTiC).
عندما تمر ذرات مادة الطلاء المتبخرة عبر منطقة التوهج، يتأين جزء صغير، وتحت تأثير المجال الكهربائي، يطير نحو قطعة العمل، ويضرب السطح بطاقة تصل إلى عدة آلاف من الإلكترون فولت. يمكنهم اختراق الركيزة إلى عمق عدة نانومترات، مما يحسن بشكل كبير من التصاق الطلاء. يتم ترسيب ذرات المواد المتبخرة الموحدة مباشرة على قطعة العمل لتكوين فيلم. كما أن تناثر أيونات الغاز الخامل وأيونات مواد الطلاء على سطح قطعة العمل يزيل الملوثات، وبالتالي تحسين الالتصاق.
تختلف التقنيات المستخدمة في آلات الطلاء الفراغي الأيوني وآلات الطلاء بالتبخر وآلات الطلاء بالرش المغنطروني. تتمتع مبادئ تكنولوجيا الطلاء هذه أيضًا بمزاياها الخاصة. يمكن اختيار طرق طلاء مختلفة وفقًا لقطعة عمل الطلاء وطبقة الفيلم لتلبية طلب السوق.
