تشغيل خزانة التحكم الكهربائي
1. قم بتشغيل مضخة المياه ومصدر الغاز.
2. قم بتشغيل مصدر الطاقة الرئيسي.
3. قم بتشغيل إمدادات الطاقة لمضخة الصيانة ومقياس الفراغ ، وموضع مقياس V1. انتظر أن تكون قيمتها أقل من 10 قبل الدخول إلى الخطوة التالية. يستغرق حوالي 5 دقائق.
4. قم بتشغيل المضخة الميكانيكية ، والضخ المسبق ، وقم بتشغيل إمدادات طاقة المضخة التوربينية الجزيئية ، وابدأها. قم بتبديل مفتاح مقياس الفراغ إلى موضع V2 وضخه حتى يصبح أقل من 2. يستغرق حوالي 20 دقيقة.
5. بعد ملاحظة أن قراءة المضخة الجزيئية التوربينية تصل إلى 250 ، قم بإيقاف تشغيل المضخة المسبقة ، وقم بتشغيل المضخة الأمامية وصمام الفراغ العالي لمواصلة التفريغ. بعد أن يصل الفراغ إلى مستوى معين ، يمكن تشغيل مقياس الفراغ العالي على اليمين لمراقبة درجة الفراغ. لا يمكن تشغيل إمدادات الطاقة الإلكترونية إلا بعد أن يصل الفراغ إلى 2 × 10-3.
DEF-6B
1. إمدادات الطاقة الرئيسية.
2. قم بتشغيل قوة التحكم في الأسلحة الإلكترونية ⅰ والتحكم في الأسلحة الإلكترونية ⅱ في نفس الوقت: اضغط على مفتاح الطاقة والتأخير للتحكم في الأسلحة الإلكترونية ⅰ ، ستضيء تأخير وأضواء الطاقة والحماية ، وستخرج مصابيح التأخير والحماية بعد ثلاث دقائق. إذا لم يتم إغلاق الباب الخلفي أو أن ترحيل تدفق المياه معيب ، فسيظل ضوء الحماية دائمًا قيد التشغيل.
3. قم بتشغيل الجهد العالي ، سيصل الجهد العالي إلى أكثر من 10 كيلو فولت ، وضبط تيار الحزمة إلى حوالي 200mA ، وشبكة الستار هي 20 فولت/100mA ، وتيار الشعيرة هو 1.2 أ ، ويتأرجح تيار الانحراف بين 1 و 1.7.
تسلسل الإغلاق
1. قم بإيقاف تشغيل مقياس الفراغ العالي والمضخة الجزيئية.
2. عندما تعرض المضخة الجزيئية 50 ، قم بإيقاف تشغيل الصمام العالي ، والمرحلة الأمامية ، والمضخة الميكانيكية بدورها. هذه الفترة تستغرق حوالي 40 دقيقة.
3. عندما يكون أقل من 50 ، قم بإيقاف تشغيل مضخة الصيانة.
